この規格は,シリコン鏡面ウェーハ又はエピタキシャルウェーハの表面原子濃度を,全反射蛍光X線分折法(TXRF)によって定量する方法について規定する。 この方法は,次の元素分析に適用する。—原子番号が16(S)から92(U)までの元素 —表面原子濃度が1 × 10 atoms/cmから1 × 10 atoms/cmまでの汚染元素 —VPD試料前処理法を用いる場合は,表面原子濃度が5 × 10 atoms/cmから5 × 10 atoms/cmまでの汚染元素
JIS K0148-2005由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 2005-03-20。
JIS K0148-2005 在中国标准分类中归属于: A43 化学,在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
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