真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
真空获得通常用真空泵对一个封闭空间通过机械、物理或化学的方式进行抽气,从而获得并维持一个真空环境。真空泵按照工作原理可以分为气体输送泵和气体捕集泵,气体输送泵可分为变容真空泵(往复式和旋片式真空泵)和动量传送泵(分子真空泵、扩散泵、离子泵等)。大多数情况下我们需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气,才能满足更高真空度的要求。真空测量我们可以在真空装置上加装真空规来精确测量真空度。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved 京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号