通过测量悬臂的翘曲度，可以判断探针与材料表面的距离翘曲度的测量，也挺有意思，用一束激光入射到悬臂前端的一个固定位置，调整激光器/悬臂/探测器的位置与角度，使得无翘曲时反射光在探测器中心悬臂由于斥力产生翘曲，反射光的中心点偏离探测器中心，通过计算偏移量就可以反推翘曲度，探测器偏移量对翘曲产生千倍左右的放大效应，在微米级别，人类就很容易识别了...
9、优异的分辨率测量0.2um弓形高度变化超过 20M 的平镜（大约 0.8%）10、FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪全3D测绘的手动旋转平台。11、测量局部应力测量42 点/mm 并大于8400 点/200mm晶圆。这种测量密度获得更好的信号噪声比。...
SMT自动化插件设备和贴片设备等高端制造装备广泛应用在线路板当中如果线路板板弯板翘超过既定标准，将会大大降低线路板的成品合格率，并容易造成后续大量的虚焊、漏焊及无法焊接情况的发生，最终将严重影响电子产品的使用性能。正业板弯板翘检查机带您快速测量翘曲度值避免板弯板翘。 ...
平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量 。...
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