如何判断探针与材料表面的距离
通过测量悬臂的翘曲度,可以判断探针与材料表面的距离
翘曲度的测量,也挺有意思,用一束激光入射到悬臂前端的一个固定位置,调整激光器/悬臂/探测器的位置与角度,使得无翘曲时反射光在探测器中心
悬臂由于斥力产生翘曲,反射光的中心点偏离探测器中心,通过计算偏移量就可以反推翘曲度,探测器偏移量对翘曲产生千倍左右的放大效应,在微米级别,人类就很容易识别了
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