BS ISO 16242:2011
表面化学分析.俄歇电子能谱术的记录和报告数据(AEC)
Surface chemical analysis. Recording and reporting data in Auger electron spectroscopy (AES)
- 标准号
- BS ISO 16242:2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS ISO 16242:2011
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俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectroscopy，AES），作为一种最广泛使用的分析方法而显露头角。这种方法的优点是：在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高；数据分析速度快；能探测周期表上He以后的所有元素。虽然最初俄歇电子能谱单纯作为一种研究手段，但现在它已成为常规分析手段了。它可以用于许多领域，如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面。...
俄歇电子能谱仪简介
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