VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
光学测量和微形貌 干涉显微镜的校准和粗糙度测量的深度测量标准
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement
- 标准号
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
- 发布
- 2008年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
- 适用范围
- 本指南 VDI/VDE 2655 第 1.1 部分适用于用于测量工业表面形貌的干涉显微镜。所描述的校准程序与接触式手写笔仪器可追溯性指南中已经证明的方法相当（见图 1）（DKD-R 4-2；EAL-G20）。因此，在可能的情况下也使用了那里检查的标准（光学平面、光栅、深度测量标准、粗糙度测量标准）。本指南系列的当前部分仅限于干涉显微镜的基本校准。这包括通过可追溯的深度测量标准进行测量来追溯长度单位。这对应于图 1 中的右侧垂直路径。从这些测量程序中得出计算仪器校准中的测量不确定度的推导以及在深度测量标准上进行测量的推导。表面粗糙度参数的相应程序将在第2.1 部分中描述。本指南的应用旨在实现以下目标： 提高使用不同显微镜进行表面测量以及显微镜和接触式仪器与标准（文件）和接触式仪器标准之间的可比性 定义长度单位可追溯性的条件如图 1 所示 确定校准的适用性并定义校准的有效性范围 定义校准过程和验收条件的最低要求 提供符合 GUM 的模型，用于计算使用干扰的测量方法的测量不确定度显微镜 结果报告要求的定义。
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