DIN EN 62047-5:2012
半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关(IEC 62047-5-2011).德文版本 EN 62047-5-2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011
- 标准号
- DIN EN 62047-5:2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-5:2012-03
- 当前最新
- DIN EN 62047-5:2012-03
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-5:2008
DIN EN 62047-5:2012相似标准
LST EN 62047-5-2011 半导体设备 微机电设备 第5部分：RF MEMS 开关（IEC 62047-5:2011）
NF C96-050-5*NF EN 62047-5:2012 半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
IEC 62047-5:2011 半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
IEC 62047-5:2011/COR1:2012 半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
DIN EN 62047-10:2012 半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩试验(IEC 62047-10-2011).德文版本 EN 62047-10-2011