ASTM E2088-06(2011)
测量清洁室和相关受控环境中粒子沉积物用选择,制备,暴露和分析参考表面的标准操作规程

Standard Practice for Selecting, Preparing, Exposing, and Analyzing Witness Surfaces for Measuring Particle Deposition in Cleanrooms and Associated Controlled Environments

被代替

标准号

ASTM E2088-06(2011)

发布

2006年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E2088-06(2015)

当前最新

ASTM E2088-06(2021)

 

 

这种做法提供了一种在洁净室和其他受控环境中测量颗粒沉积或沉降物的标准方法。它基于使用见证表面来收集从周围环境中沉积的颗粒，然后通过传统方法对颗粒进行尺寸测量和计数。介绍了几种选项，以及为预期应用选择最佳选择的限制和指南。本实践适用于包括航空航天、微电子和制药在内的众多行业。1.1本实践旨在协助见证表面的选择、准备、暴露和分析，以表征洁净室和相关受控环境中的颗...

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