ASTM F50-12
在控制尘埃区域和清洁室中用能够检测单次微米和大粒子仪器连续测定空气中悬浮微粒的大小及计数的标准实施规程

Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles

被代替

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标准号

ASTM F50-12

发布

2012年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F50-12(2015)

当前最新

ASTM F50-21

 

 

本实践的主要目的是描述一种收集清洁区域中空气颗粒浓度和尺寸分布的近实时数据的程序，如单颗粒计数技术所示。一些政府和行业规范的实施需要使用 SPC 采集颗粒尺寸和浓度数据。在洁净室中制造的许多产品的加工要求涉及的环境清洁度水平非常低，以至于需要能够检测非常小的颗粒的单个颗粒计数器来表征洁净室空气。只有使用 SPC 才能获得尺寸范围从小于 0.1 米到 5 米及...

ASTM F50-12 中可能用到的仪器设备

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