DS/EN ISO 14644-2:2001
洁净室和相关受控环境 第2部分:用于证明持续符合 ISO 14644-1 的测试和监控规范

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1


 

 

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标准号
DS/EN ISO 14644-2:2001
发布
2001年
发布单位
丹麦标准化协会
当前最新
DS/EN ISO 14644-2:2001
 
 
适用范围
该标准的这一部分规定了对洁净室或洁净区进行定期测试的要求,以证明其持续符合 14644-1 指定的空气颗粒洁净度分类。

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