ASTM F1374-92(2012)
气体分配系统部件内表面-IC/GC/FTIR离子/有机可萃取物的标准试验方法
Standard Test Method for Ionic/Organic Extractables of Internal Surfaces-IC/GC/FTIR for Gas Distribution System Components
- 标准号
- ASTM F1374-92(2012)
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1374-92(2020)
- 当前最新
- ASTM F1374-92(2020)
- 引用标准
- ASTM E1151
- 适用范围
- 1.1 本测试方法建立了测试超高纯气体分配系统中使用的组件的离子和有机表面残留物的程序。
1.2 本测试方法适用于含有气态电子级材料的在线组件。
1.3 局限性：
1.3.1 本测试方法受到检测仪器灵敏度和提取溶剂可用纯度水平的限制。虽然离子色谱和气相色谱方法是定量的，但傅里叶变换红外光谱 (FTIR) 方法可用作定性或定量工具。此外，还使用气相色谱 (GC) 和 FTIR 方法来检测残留在部件内表面上的碳氢化合物和卤化物质。这消除了那些具有高蒸气压的材料，这些材料是根据该测试方法在总碳氢化合物测试中进行分析的。
1.3.2 本测试方法适用于具有相当于 12 个月经验水平的设备使用理解水平的操作员。
1.4 以 SI 单位表示的数值应视为标准。括号中给出的英寸-磅单位仅供参考。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 6 节。
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