DIN EN 62047-13:2012
半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-2012
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012); German version EN 62047-13:2012
- 标准号
- DIN EN 62047-13:2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-13:2012-10
- 当前最新
- DIN EN 62047-13:2012-10
- 引用标准
- IEC 62047-2-2006
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