EN ISO 14644-9:2012
净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012)

被代替

EN ISO 14644-9:2012 发布历史

EN ISO 14644-9:2012由欧洲标准化委员会 IX-CEN 发布于 2012-08-01。

EN ISO 14644-9:2012在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境。

EN ISO 14644-9:2012 发布之时，引用了标准

• ISO 14644-6:2007 无菌室和相关控制环境.第6部分:词汇

EN ISO 14644-9:2012的历代版本如下：

• 2022年 EN ISO 14644-9:2022 净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类
• 2012年 EN ISO 14644-9:2012 净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类

ISO 14644 的这一部分根据洁净室和相关受控环境应用中的颗粒浓度对固体表面的清洁度等级进行分类。 附件 Ato D 中给出了有关测试和测量方法的建议以及有关表面特性的信息。

标准号

EN ISO 14644-9:2012

发布

2012年

发布单位

欧洲标准化委员会

替代标准

EN ISO 14644-9:2022

当前最新

EN ISO 14644-9:2022

 

 

引用标准

ISO 14644-6:2007

被代替标准

FprEN ISO 14644-9:2012

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