LST EN 62047-12-2011
半导体器件-微机电器件-第12部分：利用MEMS结构共振的薄膜材料弯曲疲劳试验方法（IEC 62047-12:2011）

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011)


 

 

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标准号
LST EN 62047-12-2011
发布
2011年
发布单位
立陶宛标准局
当前最新
LST EN 62047-12-2011
 
 

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