DIN EN 62047-12:2012
半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011
- 标准号
- DIN EN 62047-12:2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 当前最新
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-12:2010
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