GB/T 15862-2012
离子注入机通用规范
General specification of ion implantation equipment
GBT15862-2012, GB15862-2012
GB/T 15862-2012 发布历史
GB/T 15862-2012由国家质检总局 CN-GB 发布于 2012-11-05，并于 2013-02-15 实施。
GB/T 15862-2012 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备。
GB/T 15862-2012 发布之时，引用了标准
- GB 18209.1 机械电气安全 指示、标志和操作 第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求
- GB/T 13384-1992 机电产品包装通用技术条件
- GB/T 191 包装储运图示标志
- GB/T 4857.7-2005 包装 运输包装件基本试验 第7部分;正弦定频振动试验方法
- GB/T 5080.7-1986 设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案
- GB/T 6388-1986 运输包装收发货标志
- SJ/T 10674 涂料涂覆通用技术条件
- SJ/T 142 电子工业专用设备通用规范
GB/T 15862-2012的历代版本如下：
- 2012年 GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
- 1995年 GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
本标准规定了离子注入机的本标准适用于半导体工艺庐
- 标准号
- GB/T 15862-2012
- 别名
- GBT15862-2012
GB15862-2012 - 发布
- 2012年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 15862-2012
- 引用标准
- GB 18209.1 GB/T 13384-1992 GB/T 191 GB/T 4857.7-2005 GB/T 5080.7-1986 GB/T 6388-1986 SJ/T 10674 SJ/T 1276 SJ/T 142
- 被代替标准
- GB/T 15862-1995