GB/T 15862-2012
离子注入机通用规范
General specification of ion implantation equipment
GBT15862-2012, GB15862-2012
- 标准号
- GB/T 15862-2012
- 别名
- GBT15862-2012, GB15862-2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 15862-2012
- 引用标准
- GB 18209.1 GB/T 13384-1992 GB/T 191 GB/T 4857.7-2005 GB/T 5080.7-1986 GB/T 6388-1986 SJ/T 10674 SJ/T 1276 SJ/T 142
- 被代替标准
- GB/T 15862-1995
- 适用范围
- 本标准规定了离子注入机的本标准适用于半导体工艺庐