EN ISO 14644-8:2013
洁净室及相关受控环境-第8部分:分类的空气清洁化学浓度(ACC)

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)

2022-10

 

 

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标准号
EN ISO 14644-8:2013
发布
2013年
发布单位
欧洲标准化委员会
替代标准
EN ISO 14644-8:2022
当前最新
EN ISO 14644-8:2022
 
 
引用标准
ISO 14644-6:2007
被代替标准
FprEN ISO 14644-8:2012
适用范围
ISO 14644 的这一部分根据特定化学物质（个体、群体或类别）的空气浓度，建立了洁净室和相关受控环境中空气化学清洁度 (ACC) 的分类，并提供了包括测试方法、分析和时间的协议-分类规范内的加权因素。 ISO 14644 的这一部分目前仅考虑洁净室操作条件下空气化学污染物浓度在 100 至 10−12 g/m3 之间。 ISO 14644 的这一部分与存在空气化学污染物的行业、流程或生产中的应用无关。

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