GB/T 25915.8-2021
洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
GBT25915.8-2021, GB25915.8-2021
- 标准号
- GB/T 25915.8-2021
- 别名
- GBT25915.8-2021, GB25915.8-2021
- 发布
- 2021年
- 采用标准
- ISO 14644-8:2013 IDT
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 25915.8-2021
- 引用标准
- GB/T 25915.6
- 被代替标准
- GB/T 25915.8-2010
- 适用范围
- 本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组或类)的浓度,对空气化学污染进行分级。同时,本文件分级技术要求,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。 本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中100g/m3 ~10-12g/m3 的化学污染物浓度。 本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。 本文件无意探讨空气化学污染物的特性。 本文件不包含对表面化学污染的分级。
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