电子显微术开始于上世纪30年代,经过几十年的不断发展和完善,现在其主要方法包括选区电子衍射(SAED)、衍射衬度分析、汇聚束衍射(CBED)、高分辨分析(HREM)、微区成分分析(EDS、EELS)及Z衬度分析,同时还包括电子全息分析和电子结构分析等。电子显微术主要用于分析材料内部的微观结构和成分分析,现在已经成为材料、凝聚态物理、半导体电子技术、化学、生物、地质等多学科的非常重要的研究手段。 ...
选区电子衍射的分析 单晶电子衍射花样[5]可以直观地反映晶体二维倒易平面上阵点的排列,而且选区衍射和形貌观察在微区上具有对应性,因此选区电子衍射一般有以下几个方面的应用。 ...
随着扫描透射电子显微术(STEM)的发展,采用强烈聚焦的细小电子束照射样品上极其有限的区域,与视场光阑的方法相比,不但选区尺寸小,而且精度高。这就是所谓微衍射(选区小于100nm)和微微衍射(选区小于10nm),也有人把它们分别叫做μ衍射和μμ衍射。...
·由于具有极高分辨率,可方便地获得晶格条纹像乃至高分辨的原子像,结合选区电子衍射等手段可以对微区的晶体学特征、缺陷结构等进行详细的研究。 ·由于TEM具有很高的加速电压,电子束能量较高,可以激发出很多信号,使得TEM可以配备多种其他分析手段以获得样品更全面的信息。 ·TEM由于其成像电子束穿透样品,在合适的制样条件下可以有效反映出孔道结构、空心结构等的特点。 ...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号