YS/T 937-2013由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 2013-10-17,并于 2014-03-01 实施。
YS/T 937-2013 在中国标准分类中归属于: H68 贵金属及其合金,在国际标准分类中归属于: 77.150.99 其他有色金属产品。
YS/T 937-2013 镍铂靶材的最新版本是哪一版?
最新版本是 YS/T 937-2013 。
* 在 YS/T 937-2013 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
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02溅射镀膜速率一个经常被提及的问题是,不同靶材的溅射速率到底有多大差别?表 1 列出了不同靶材相对于金靶(假定为 1)的理论溅射速率。由于实际溅射速率会受到各种溅射条件的影响,此处提到的只是理论溅射速率。元素名称符号相对溅射速率金Au1.0银Ag1.2钴Co0.5铬Cr0.5铜Cu0.7铁Fe0.5钼Mo0.3镍Ni0.5钯Pd0.85铂Pt0.6钽Ta0.2钨W0.2表1. ...
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