YS/T 937-2013
镍铂靶材
Nickel-platinum target
YST937-2013, YS937-2013
- 标准号
- YS/T 937-2013
- 别名
- YST937-2013, YS937-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 行业标准-有色金属
- 当前最新
- YS/T 937-2013
- 引用标准
- GB/T 1031 GB/T 14265 GB/T 15077 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837
- 适用范围
- 本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
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