YS/T 893-2013
电子薄膜用高纯钛溅射靶材
High-purity sputtering titanium target used in electronic film
说明：
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- 标准号
- YS/T 893-2013
- 发布日期
- 2013年10月17日
- 实施日期
- 2014年03月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H64
- 国际标准分类号
- 77.150.50
- 发布单位
- CN-YS
- 引用标准
- GB/T 1031 GB/T 4698.7 GB/T 4698.14 GB/T 4698.15 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837 YS/T 891 YS/T 892
- 适用范围
- 本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。