YS/T 893-2013
电子薄膜用高纯钛溅射靶材
High-purity sputtering titanium target used in electronic film
YS/T 893-2013 发布历史
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
YS/T 893-2013由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 2013-10-17，并于 2014-03-01 实施。
YS/T 893-2013 在中国标准分类中归属于: H64 稀有轻金属及其合金，在国际标准分类中归属于: 77.150.50 钛产品。
YS/T 893-2013 发布之时，引用了标准
- GB/T 1031 产品几何技术规范(GPS).表面结构.轮廓法.表面粗糙度参数及其数值
- GB/T 4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法.氧量、氮量的测定
- GB/T 4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法.碳量的测定
- GB/T 4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法.氢量的测定
- GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法*， 2017-02-28 更新
- GJB 1580A GJB 1580A-2019
- YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
- YS/T 891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
- YS/T 892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
* 在 YS/T 893-2013 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
YS/T 893-2013的历代版本如下：
- 2013年10月17日 YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
- 标准号
- YS/T 893-2013
- 发布日期
- 2013年10月17日
- 实施日期
- 2014年03月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H64
- 国际标准分类号
- 77.150.50
- 发布单位
- CN-YS
- 引用标准
- GB/T 1031 GB/T 4698.7 GB/T 4698.14 GB/T 4698.15 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837 YS/T 891 YS/T 892
- 适用范围
- 本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。