俄歇电子效应对表面微量元素有很高的灵敏度,能探测周期表中氦以后的所有元素,而且分析速度快。应用俄歇电子谱可以对材料进行成分定性、定量分析。虽然X射线、离子等激发源也可用来激发俄歇电子,但由于电子便于产生高束流、容易聚焦和偏转,故通常采用电子束作为俄歇电子的激发源。为了激发俄歇跃迁,在常规AES中产生初始电离所需的入射电子能量在1~30 keV。...
吴老师的报告内容力求通俗、易懂、实用,通过具体实例讲述灵敏度因子的使用,意在帮助XPS分析和使用人员准确解读、规范使用XPS灵敏度因子。X射线光电子谱(XPS)被广泛应用于材料的表面分析,样品中的元素(除氢和氦外)可以通过测量光电子谱确定的芯能级结合能比对表中给出的这些能量所对应的元素而辨识出来。有关这些元素化学状态的信息可由光电子和俄歇电子的特征电子的特征峰相对于参考态的化学位移推出。...
随着微电子技术的发展,XPS也在不断完善,目前,已开发出的小面积X射线光电子能谱,大大提高了XPS的空间分辨能力。通过对样品进行全扫描,在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此,XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。X射线光电子能谱的理论依据就是爱因斯坦的光电子发散公式。...
随着微电子技术的发展,XPS也在不断完善,目前,已开发出的小面积X射线光电子能谱,大大提高了XPS的空间分辨能力。通过对样品进行全扫描,在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此,XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。X射线光电子能谱的理论依据就是爱因斯坦的光电子发散公式。...
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