GB 51034-2014
多晶硅工厂设计规范
Code for design of polysilicon plant
GB 51034-2014 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB 51034-2014
- 发布日期
- 2014年08月27日
- 实施日期
- 2015年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- P76
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 50009 GB 50010 GB 50011 GB 50013 GB 50014 GB 50015 GB 50016 GB 50019 GB 50025 GB 50029 GB 50034 GB 50040 GB 50041 GB 50046 GB 50050 GB 50052 GB 50057 GB 50058 GB 50073 GB/T 50102 GB 50112 GB 50140 GB 50160 GB 50177 GB 50187 GB 50189 GB 50217 GB 50222 G
- 适用范围
- 本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
GB 51034-2014 中可能用到的仪器设备
扫描电镜SEM
透射电镜TEM
拉曼光谱仪
电镜附件及外设
制备液相
气相色谱仪GC
色谱自动进样器（多功能）
X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
近红外光谱仪
化学吸附仪
激光粒度仪、纳米粒度仪
实验室家具配套设备
移液工作站/智能化样品处理平台/全自动稀释配标仪
GPC凝胶净化
浓缩仪
药品柜
蠕动泵/注射泵
水浴/油浴/恒温槽
固相萃取仪/装置
通风柜/通风橱
实验台/减震台
冷水机/冷却循环水机
反应釜/反应器
实验室研磨机/研磨仪/粉碎机/球磨机
微波合成装置
抽提萃取/索氏提取/脂肪测定仪
纯水器/超纯水器/纯水机/超纯水机
马弗炉/电阻炉/实验炉
电泳仪及附件
核酸纯化系统/核酸提取仪
酶标仪
蛋白质纯化系统
基因/DNA测序仪
过滤器、超滤、微滤系统
在线气相色谱
空气质量自动监测系统
CO2/CO检测仪
TOC分析仪
气体稀释仪
风速仪、风量计
酸雨采样器
烟尘/烟气采样器
测油仪/油分浓度仪
气象站
PM2.5/PM10/PM1/TSP环境大气颗粒物监测仪
VOC检测仪/TVOC监测仪
烟气排放连续监测系统CEMS/烟气分析仪
食品安全快速检测仪
天平/电子天平/分析天平