GB 51034-2014
多晶硅工厂设计规范
Code for design of polysilicon plant
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
- 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
- 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
- 表示标准的节点，可以拖动；
- 绿色表示标准：GB 51034-2014 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 标准号
- GB 51034-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB 51034-2014
- 引用标准
- G GB 50009 GB 50010 GB 50011 GB 50013 GB 50014 GB 50015 GB 50016 GB 50019 GB 50025 GB 50029 GB 50034 GB 50040 GB 50041 GB 50046 GB 50050 GB 50052 GB 50057 GB 50058 GB 50073 GB 50112 GB 50140 GB 50160 GB 50177 GB 50187 GB 50189 GB 50217 GB 50222 GB/T 50102
- 本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。