GB/T 31227-2014
原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
GBT31227-2014, GB31227-2014
哪些标准引用了GB/T 31227-2014
找不到引用GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 的标准
- 标准号
- GB/T 31227-2014
- 别名
- GBT31227-2014
GB31227-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 31227-2014
- 引用标准
- GB/T 27760-2011
- 适用范围
- 本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
推荐
139项国家标准4月起实施 7项涉科学仪器
序号标准号中文名称实施日期107GB/T 7600-2014运行中变压器油和汽轮机油水分含量测定法(库仑法)2015-04-01111GB/T 31225-2014椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法2015-04-15112GB/T 31226-2014扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法2015-04-15113GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法...
4月起将实施139项国家标准 其中7项涉科学仪器
序号标准号中文名称实施日期107GB/T 7600-2014运行中变压器油和汽轮机油水分含量测定法(库仑法)2015-04-01111GB/T 31225-2014椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法2015-04-15112GB/T 31226-2014扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法2015-04-15113GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法...