BS EN 62047-21:2014
半导体器件. 微型机电装置. 薄膜MEMS材料泊松比试验方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
- 标准号
- BS EN 62047-21:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-21:2014
- 引用标准
- ASTM E132-04(2010) EN 62047-8:2011 IEC 62047-8-2011
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