ISO 14594:2014
微电子束分析.电子探测微观分析.波长色散光谱学用实验参数的测定指南
Microbeam analysis - Electron probe microanalysis - Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy
- 标准号
- ISO 14594:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14594:2014
- 引用标准
- ISO/IEC 17025:2005
- 适用范围
- 国际标准 本国际标准给出了确定进行电子探针微量分析时需要考虑的与主光束、波长光谱仪和样品相关的实验参数的一般指南。 它还定义了确定束流、电流密度、死区时间、波长分辨率、背景、分析区域、分析深度和分析体积的程序。 本国际标准旨在使用法向光束入射分析抛光良好的样品，获得的参数只能指示其他实验条件。 本国际标准不适用于能量色散 X 射线光谱。
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