YS/T 987-2014
氯硅烷中碳杂质的测定方法 ——甲基二氯氢硅的测定

Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane.Determination of methyldichlorosilane

YS/T 987-2014 发布历史

本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法,主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%~1.00%。

YS/T 987-2014由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 2014-10-14，并于 2015-04-01 实施。

YS/T 987-2014 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法，在国际标准分类中归属于: 77.040.30 金属材料化学分析。

YS/T 987-2014 发布之时，引用了标准

• GB/T 4844.3 高纯氦

YS/T 987-2014的历代版本如下：

• 2014年10月14日 YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 ——甲基二氯氢硅的测定
• 2021年12月02日 YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法

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标准号

YS/T 987-2014

发布日期

2014年10月14日

实施日期

2015年04月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.30

发布单位

CN-YS

适用范围

本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法,主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%~1.00%。

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