本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。
YS/T 954-2014由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 2014-10-14,并于 2015-04-01 实施。
YS/T 954-2014 在中国标准分类中归属于: H68 贵金属及其合金,在国际标准分类中归属于: 77.120.99 其他有色金属及其合金。
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