이 표준은 실리콘 단결정 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 한다.)의 두께, 두께 변화 및 휨의 측정
KS D 0259-2012由韩国标准 KR-KATS 发布于 2012-05-17,并于 2012-05-17 实施。
KS D 0259-2012 在中国标准分类中归属于: H81 半金属,在国际标准分类中归属于: 77.120.99 其他有色金属及其合金。
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