KS I ISO 14644-2:2007
洁净室和相关控制环境.第2部分:与KS M ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 2：Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with KS M ISO 14644－1

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标准号

KS I ISO 14644-2:2007

发布

2007年

发布单位

韩国标准

 

 

被代替标准

KS I ISO 14644-2:2002

适用范围

이 규격은 클린룸 또는 청정 구역이 KS M ISO 14644-1에서 정한 공기 중 입자의

KS I ISO 14644-2:2007相似标准

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