EN ISO 14644-2:2000
洁净室和相关控制环境.第2部分:与ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范ISO 14644-2-2000

Cleanrooms and Associated Controlled Environments - Part 2: Specifications for Testing and Monitoring to Prove Continued Compliance with ISO 14644-1 ISO 14644-2:2000

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标准号: EN ISO 14644-2:2000
发布: 2000年
发布单位: 欧洲标准化委员会
替代标准: EN ISO 14644-2:2015
当前最新: EN ISO 14644-2:2015

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