GB/T 31058-2014
电子工业用气体 四氟化硅
Gases for electronic industry.Silicon tetrafluoride
GBT31058-2014, GB31058-2014
- 标准号
- GB/T 31058-2014
- 别名
- GBT31058-2014, GB31058-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 31058-2014
- 引用标准
- GB 14194 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 28727 GB/T 3723 危险化学品安全管理条例(2002版) 气瓶安全监察规程(2000版) 特种设备安全监察条例(2009版)
- 适用范围
- 本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF4。相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。
GB/T 31058-2014相似标准
推荐
华爱色谱参与起草的四项国家标准正式发布
根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号)，由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...
热点应用丨硅钼蓝分光光度法在气体中硅含量测定的应用
GB/T14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》规定：三氟化硼气体中四氟化硅的含量最好在20ppm以下。目前，气体中的硅含量的测定方法有很多种（如重量法、原子吸收光谱法、氟硅酸容量法等），硅钼蓝分光光度法存在诸多优点：如，操作简单、显色快速稳定、应用广泛等。...