GB/T 31352-2014
蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

Test methods for warp of sapphire substrates


GB/T 31352-2014 中,可能用到以下仪器

 

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Advanced Chemistry Development, Inc. (ACD/Labs)

 

NT200系列半导体泵浦固体纳秒可调谐激光器

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NT350半导体泵浦纳秒可调谐激光器

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OLS41003D测量激光显微镜

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基恩士 高精度三维扫描测量仪VL系列

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基恩士 夹钳式流量传感器 FD-X

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真蜂窝气浮隔振光学平台THP系列

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真蜂窝阻尼隔振光学平台THR系列

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气浮隔振光学平台ZPT系列

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OWIS高精度线性电动位移平台 LIMES84

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OWIS高精度线性动态电动位移平台HPL120

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OWIS高精度线性电动位移平台 LIMES44

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OWIS高精度线性电动位移平台 LIMES124

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OWIS微型电动XY位移平台 KTM40

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OWIS微型电动XY位移平台 KTM 65

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GB/T 31352-2014



标准号
GB/T 31352-2014
发布日期
2014年12月31日
实施日期
2015年09月01日
废止日期
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040.99
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片(以下简称蓝宝石衬底片)翘曲度的测试方法。本标准适用于直径50.8 mm~304.8 mm,厚度为不小于200 μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。

GB/T 31352-2014系列标准


GB/T 31352-2014 中可能用到的仪器设备





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