GB/T 32281-2015
太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock.Secondary ion mass spectrometry

GBT32281-2015, GB32281-2015

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标准号

GB/T 32281-2015

别名

GBT32281-2015, GB32281-2015

发布

2015年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 32281-2015

 

 

引用标准

ASTM E673 GB/T 14264 GB/T 2828.1

适用范围

本标准规定了太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷元素体含量的二次离子质谱(SIMS)检测方法。 本标准适用于检测各元素体含量不随深度变化、且不考虑补偿的太阳能级单晶或多晶硅片或硅料中氧、碳、硼和磷元素的体含量。各元素体含量的检测上限均为0.2%(即<1×10²⁰ atoms/cm³)，检测下限分别为氧含量≥5×10¹⁶ atoms/cm³、碳含量≥1×10¹⁶ atoms/cm³、硼含量≥1×10¹⁴ atoms/cm³和磷含量≥2×10¹⁴ atoms/cm³。四种元素体含量的测定可使用配有铯一次离子源的SIMS仪器一次完成。

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