国家测量统一性保证体系.扫描电子显微镜.校准方法, 您可以免费下载预览页
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该方法可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量,实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源,有效减少电子束扫描成像过程中放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差,从而实现对样品纳米结构的溯源测量。 该设备的研制成功对我国纳米尺度计量标准的制定、扫描电子显微镜及其它纳米尺寸测量仪器的校准、纳米标样和标物的校准、参与国际长度比对等方面将起到重要作用。 ...
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