GB/T 13843-1992
蓝宝石单晶抛光衬底片
Polished monocrystalline sapphire substrates
GBT13843-1992, GB13843-1992
2017-12
- 标准号
- GB/T 13843-1992
- 别名
- GBT13843-1992, GB13843-1992
- 发布
- 1992年
- 采用标准
- SEMI M3-1983 REF
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 13843-1992
- 适用范围
- 本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
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