GB/T 14015-1992
硅-兰宝石外延片
Silicon on sapphire epitaxial wafers
GBT14015-1992, GB14015-1992
- 标准号
- GB/T 14015-1992
- 别名
- GBT14015-1992, GB14015-1992
- 发布
- 1992年
- 采用标准
- SEMI M3-1983 REF
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14015-1992
- 适用范围
- 本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。