BS EN 62047-26:2016
半导体器件. 微型机电装置. 微槽和针孔结构的描述和测量方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Description and measurement methods for micro trench and needle structures
- 标准号
- BS EN 62047-26:2016
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-26:2016
- 引用标准
- EN ISO 3274:1997 GUM-1995 ISO 129-1 ISO 3274:1996 ISO/IEC Guide 98-3:2008
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