NF C96-050-26*NF EN 62047-26:2016
半导体器件. 微型机电装置. 第26部分: 微槽和针孔结构的描述和测量方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26 : description and measurement methods for micro trench and needle structures

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标准号

NF C96-050-26*NF EN 62047-26:2016

发布

2016年

发布单位

法国标准化协会

当前最新

NF C96-050-26*NF EN 62047-26:2016

 

 

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