GB/T 14604-1993
电子工业用气体 氧
Gases for electronic industry. Oxygen
GBT14604-1993, GB14604-1993
2010-05
- 标准号
- GB/T 14604-1993
- 别名
- GBT14604-1993, GB14604-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14604-2009
- 当前最新
- GB/T 14604-2009
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。 分子式：O2 相对分子质量：31.999（1989年国际相对原子质量表）