GB/T 31469-2015
半导体材料切削液
Semiconductor materials cutting fluid
GBT31469-2015, GB31469-2015
- 标准号
- GB/T 31469-2015
- 别名
- GBT31469-2015, GB31469-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 31469-2015
- 引用标准
- GB 15346-2012 GB/T 10247 GB/T 11275 GB/T 11446.1 GB/T 12582 GB/T 3143 GB/T 4472-2011 GB/T 601 GB/T 603 GB/T 6368 GB/T 6678 GB/T 6680 GB/T 6682-2008 GB/T 8170
- 适用范围
- 本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。 本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。