DIN 32567-4:2015
微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第4部分：光学程序试样
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures
- 标准号
- DIN 32567-4:2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 32567-4:2015-06
- 当前最新
- DIN 32567-4:2015-06
- 引用标准
- DIN 32564-1:2004 DIN 32567-1:2015 DIN 32567-2:2014 ISO 8255-1:2011
- 被代替标准
- DIN 32567-4:2014
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