DIN 32567-2-2014
微型系统生产设备. 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定. 第2部分: 触觉程序样本

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures

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标准号

DIN 32567-2-2014

发布日期

2014年10月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

N04

国际标准分类号

39.020

发布单位

DE-DIN

引用标准

DIN 32564-1-2004 DIN 32567-1 DIN 32567-3-2014 DIN EN ISO 2808-2007

被代替标准

DIN 32567-2-2012

DIN 32567-2-2014系列标准

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