VDI/VDE 3717 Blatt 10-1993
掩模工程；集成光学掩模
Mask engineering; masks for integrated optics
- 标准号
- VDI/VDE 3717 Blatt 10-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI/VDE 3717 Blatt 10-1993
- 引用标准
- DIN VDE 0888
- 被代替标准
- VDI/VDE 3717 Blatt 10-1991
- 适用范围
- 本文件旨在通过提供定义（基于 DIN VDE 0888 中使用的定义）和规范来简化掩模制造商和集成光电路用户之间的合作。
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