BS ISO 13083-2015
表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准

Surface chemical analysis. Scanning probe microscopy. Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

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标准号

BS ISO 13083-2015

发布日期

2015年08月31日

实施日期

2015年08月31日

废止日期

无

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

GB-BSI

引用标准

ISO 18115-2 ISO 18516