ISO 18516:2019
表面化学分析.纳米到微米范围内束基方法横向分辨率和锐度的测定
Surface chemical analysis — Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
- 标准号
- ISO 18516:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 18516:2019
- 引用标准
- ISO 16242:2011 ISO 16243:2011
- 适用范围
- 本文件描述了在成像表面化学分析中测量横向分辨率和清晰度的方法。 它适用于在仪器的定义设置下使用光束分析表面化学成分的所有表面分析方法。 它适用于扫描仪器，其中精细聚焦的光束在预先选定的视场中扫描样品，也适用于全视场成像仪器，其中视场同时由宽光束、成像透镜系统和像素化探测器。 测量横向分辨率和清晰度的方法是——直尺法； ——窄线法； ——光栅法。 本文件适用于提供纳米厚度层以及纳米尺寸结构和单个纳米物体表面信息的仪器和方法。
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